在多級擴(kuò)散泵中，利用傘形噴嘴和噴射噴嘴及導(dǎo)流管組成泵的導(dǎo)流系統(tǒng)。
1.傘形噴嘴（擴(kuò)散噴嘴）
傘形噴嘴其特點(diǎn)是噴嘴直徑一級比一級大,呈塔形。因?yàn)閲娮炫c泵壁之間的間隙越大,氣體擴(kuò)散的有效面積就越大。所以位于入口端的第一級主要從增大泵的抽速來考慮。氣體經(jīng)過一次壓縮后，壓力就增大，氣體密度較高，在較小的面積里就能通過，所以，后幾級噴嘴與泵壁的間隙就做的越來越小，這樣還可以阻止壓力越來越高的氣體穿過蒸氣流反擴(kuò)散到高真空端去，使泵的極限壓力降低。
傘形噴嘴有兩個(gè)主要的幾何參數(shù)：
1）噴嘴間隙。間隙的大小影響到油蒸汽流的流量及泵的性能。
2）噴嘴張角。張角過大，從噴嘴到泵壁的距離遠(yuǎn)了，在泵壁附近不能形成較密集的蒸氣流，氣體反擴(kuò)散增強(qiáng)，泵抽氣性能變壞；張角太小，油分子的水平方向速度增大，容易引起油蒸氣反射到高真空端去，并使氣體分子向蒸氣流的擴(kuò)散受到阻礙，也會使泵的抽氣性能變壞。一般，張角的選取范圍在50°~80°，對于不同大小和型式的泵，設(shè)計(jì)時(shí)選取的張角的數(shù)值也不同。
2.噴射噴嘴
擴(kuò)散泵末級有用噴射噴嘴的，它與傘形噴嘴不同，它的形狀是先減縮后漸擴(kuò)，中間有個(gè)截面積最小的喉部。這種噴嘴通常和一個(gè)擴(kuò)壓器相配合，來保證泵能承受較高的出口壓力。
采用噴射噴嘴和擴(kuò)壓器后，不僅可以提高泵的最大許可出口壓力，也可以提高泵在中等壓力時(shí)的抽速。故一般擴(kuò)散泵常以噴嘴噴射作為最后一級，也稱噴射級。
|
